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FSI:光刻胶去除是整个产业面临的挑战

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  FSI国际有限公司面向全球发布全新ViPRTM技术,据了解,该项技术是FSI与其一些关键客户联合开发的。FSI认为,随着已注入光刻胶的应用不断上升,而与此同时可允许的材料损失和表面损坏水平程度不断下降,光刻胶去除已经成为整个产业界的挑战。目前FSI在喷雾式清洗市场占到40~45%份额。

  FSI亚太地区总裁兼总经理谭小广介绍,从2003年在中国采取直销的FSI,亚洲市场占其公司销售比例已由11%上升到20%。SMIC北京300mm生产线、和舰科技等本地晶圆厂都成了FSI的客户。而在与本地业者的技术合作方面,谭小广表示目前还没看到这样的机会。

来源:半导体国际   作者:  2006/5/12 0:00:00
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