据EE Times网站报道,Straatum Processware Ltd.近期表示,公司已经研发成功应用于半导体生产的新一代故障检测与分类(FDC)系统,被命名为MX3的FDC系统有望2006年7月31日开始交货。
2005年发布的MX2系统,可以为晶圆代工厂提供轻便的故障程序库,允许客户实现个人的工具与制程FDC控制,公司表示,MX2同时可以提供基于SQL Server数据库的数据开发特性。
MX3在此基础上进一步增加了传感器并扩大了制程控制,Straatum表示,传感器包括宽带RF和光学传感器。MX3主要针对大容量的逻辑、DRAM和闪存器件的生产,但Straatum并没有透漏该系统的价格。
相关链接(英文):
http://www.eetimes.com/news/semi/showArticle.jhtml?articleID=189602355
