吉时利的S530参数测试系统采用了成熟的源和测量技术，可满足工艺控制监测、工艺可靠性监测以及器件特性分析所需的全部直流和C-V测量。

针对高混合测试环境优化设计

S530参数测试系统专门针对那些必须处理各种器件和技术的生产和实验室环境优化设计，具有业内领先的测试规划灵活性、自动测试功能、探针台集成，以及测试数据管理能力。这些测试解决方案的设计凝聚了吉时利30多年为全球范围内客户提供各种各样的标准和定制参数测试系统的宝贵经验。

简便的软件迁移和高度的硬件重用

S530系统的设计加速和简化了系统启动过程，并实现了现有测试资源的最大重用。例如，控制这些系统的自动特性分析套件(ACS)兼容很多新出和遗留的自动探针台，所以就省去了购买新设备的费用。此外，S530的接线引出(cabled-out)配置通常允许继续使用现有的探针卡库。多项可选的应用服务，能够帮助用户充分利用现有探针仪和探针卡投资的全部价值。吉时利还可帮助用户加快开发新的测试配置，或将现有测试配置转换用于S530系统。

可见：S530系列参数测试系统datasheet.pdf