; ; ; ; ; ; 这种磁性轴承是为高真空环境半导体制造和工艺而设计。他们可以无润滑油无污染运作，使潜在的小碎片污染降到最低，并且提升生产良率，同时他们能进一步使气体溢出达到最小化。这些轴承在涡轮分子泵和300mm晶圆中大钻孔旋转设备中发挥作用。
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