; ; ; ; ; ; LRS15000-TFT3，分辨率0.75祄，最大掩膜版尺寸达1300 × 1500 mm，用于第七代TFT-LCD光罩制作。它可以建立灰区掩膜版，同时又一个Z修正选项，用以去处又掩膜版和掩膜版之间平整度差异引起的变形。
Micronic Laser Systems, www.micronic.se.