据The Semiconductor Reporter网站报道， Veeco半导体设备公司现已推出一套用于MEMS器件研发制造的新型光学台阶仪——Wyko NT3300 。此设备针对于动态MEMS提供了一种叫做DMEMS的测量选择。

Wyko NT3300增加了DMEMS测量功能后，提供了一种动态而不损伤MEMS器件的测量方式，更加有利于我们光学测量产品的完善及良好销售，测量设备部销售副总裁David Rossi表示，制造商可以使用我们的一套设备而同时实现在平面内及平面外的测量来实时的对微电子器件的功能进行评估监控。

DMEMS系统采用射闪观测仪照明，同步电子器件在运行时可以获得系列3D测量数据并生成与器件相关的简单图像。Wyko的成像软件系统非常优异。

Wyko NT3300 DMEMS系统的分辨率可达到1A，测量范围由0.1nm到2mm。