----铜的电阻低;铜连接线的厚度也可以降低。可以减低许多IC器件中的连接线的延迟。产业界越来越迫切需要用铜来取代铝/钨金属化层;采用铜后对于连接线的厚度和节距可以进行适当的折衷。
----据Altera公司报道,一种用0.18μm工艺技术生产的40万门的实验产品已经获得了相当好的成品率。下一步将采用铜连接线试验0.15μm工艺,接着再以同样的测试芯片试验0.13μm工艺的后段工序。
----0.13μm的铜连接线工艺计划在今年年底就绪。按照该公司的打算,是想为多达八层的金属化层,找出连接线的最佳节距/厚度比值,以求达到最佳的性能。如欲从Altera公司得到更多的信息,请访问网址:http://www.altera.com,查询号:493。如欲从TSMC了解更多的情况,请访问网址:http;//www.tsmc.com
