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Semitool发布基于45nm工艺的热处理器

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据Semiconductor Reporter网站报道,淀积和表面工艺设备供应商Semitool Inc.在近期的Semicon West展会上发布了其最新的低温热处理器产品。

Raider MBA-300可以更好的实现45nm工艺的制程控制和合成材料的利用。该产品基于公司Raider平台实现,结合了公司的自动系统,包括双升降处理腔和多区域加热单元。该系统占地37平方英尺,紧凑的占地面积可以满足不同晶圆厂的需要。

相关链接(英文):
http://www.semireporter.com/public/13758.cfm

来源:SEMI   作者:  2006/8/1 0:00:00
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