TCZ公司近日宣布用于制造平面显示器（FPD）的一种创新的生产工具TCZ-900X;该公司是美国Cymer公司与德国卡尔·蔡司SMT公司组成的一家合资企业。利用Cymer公司获得专利的激光技术和卡尔·蔡司SMT公司在光学与精密工程方面著名的专门技术，这种先进的TCZ-900X制造工具用于帮低温多晶硅（LTPS）显示器厂商提高量产产出效率和降低雷射结晶成本。

显示器领导厂商三星电子公司副总经理C.W.金说，“在这个市场中，成本与品质对显示器厂商来说非常重要。改善显示器性能，并同时提高生产良率的技术将最终推动平板显示器（FPD）业向前发展。”

TCZ-900X对诸如准分子雷射退火(ELA)与连续侧向结晶（SLS）等现有结晶技术提供一种出色的选择的方案，并提供了显示器厂商近期与长期效益的无与伦比的结合，例如：
• 藉由加快直接大规模整合驱动电子直接与低温多晶硅结合，以降低面板成本和提高面板的性能。
• 藉由降低驱动电压、及更小薄膜晶体管（TFT）开关来达到高图像分辨率与减少耗电率。
• 分摊设备成本与制程知识，因为TCZ-900X支持主动矩阵液晶显示器(AMLCD)， 系统整合面板（SOP）和下一代有机光发射装置（OLED）显示器。
• 提高制程量产产出能力并具有良好的晶体均匀性，因为该工具以细长光束（~5微米）一次曝光的扫过整片面板(寛达720毫米)。
• 实现较平坦化的平面布局（没有（SLS）所引起的垂直凸起物）使闸极氧化层更易量产，进一步降低面板生产成本。

TCZ率先实现细光束有方向性结晶制程设备的商业化，以高的量产产出能力并提供高载子移动率的低温多晶硅。TDX-900X设备业务将会由分布在韩国、日本、台湾及中国的TCZ客户服务架构来支持。

“低温多晶硅（LTPS）显示器厂商同时拥有多晶硅的两个固有优点“有效的成本降低、及量产能力”，TCZ公司执行长布莱恩·克莱纳（Brian Klene）说。“TCZ-900X证明美国Cymer公司与德国卡尔·蔡司SMT公司这两家产业龙头在它们为了一个共同事业而联手产生巨大的影响并为未来顺利移转到系统整合面板（SOP）和有机光发射装置（OLED）显示器生产奠定坚实的技术基础时”，克莱纳又说。

该工具的核心是具有高重复率达6千赫及900瓦的高精度光束的光学组件的准分子雷射。这种结合可实现高扫描率，从而该系统在很快的时间内扫过Gen4 730 x 900毫米玻璃面板。

TCZ-900X Alpha版工具已完成，而且将可从2005 第四季供客户测试评估Q3 2005。实际机台定于2006年中可量产。欲知详细技术信息，请连结www.tcz.com网站。欲查看TCZ-900X的动画片，请连结工具动画片。