ELLIPSON MCP是一种超小型、高精密厚度测量系统，用于分析成型晶圆上（patterned wafer）的超薄薄膜。它的核心部分ELLIPSON二极管激光器椭率计具有685nm波长，可以对厚达300mm的透明层进行精确测量。它是一种对理想点对点距离进行定位和倾斜的自动校正系统，其扫描机理确保了使用者的所占面积最小。直接驱动技术提供了最大定位精确度。该全集成系统可通过来自主机设备的远程控制进行操作。NanoPhotonics AG, www.nanophotonics.de.