中芯国际总裁兼首席执行官张汝京博士在近日上海举行的2006集成电路产业链国际合作论坛上透露,国产离子注入、刻蚀设备现正在中芯国际天津七厂接受验证评估。

中微半导体设备（上海）有限公司、北方微电子和北京中科信电子装备有限公司的8英寸离子注入和刻蚀设备目前正在中芯国际的天津7厂进行验证，张汝京博士对国产设备给予了很高评价:“这些国产设备到目前为止效果非常好,不比国外设备差,目前只是缺少量产资料,下一步我们将与厂家在此方面进一步合作。”目前国内设备研发出来后没有厂家认证,产品很难进入市场,这方面需要设备厂家与集成电路生产厂家共同努力,积极配合,“我们希望看到越来越多的从研发开始的国产化设备,中芯国际愿意为国产设备厂家提供生产的测试平台。”张汝京博士对国产化设备充满信心。

据透露,中芯国际目前已开始进行国产光刻胶的验证,并且与北京有色金属研究院共同合作生产12英寸高纯度芯片,并已在北京生产线试用。