据Semiconductor Reporter网站报道,CMP浆料供应商Cabot Microelectronics Corp.近期宣布,公司与IBM达成了一项关于CMP浆料技术的专利协议,包括应用于铜、铜金属栅、钨和电介质。交易的细节没有被透漏。
Cabot Microelectronics主席与CEO William P. Noglows表示,我们相信这些技术将进一步增强我们的竞争优势,扩大我们现有的知识产权库。
在CMP技术发展的近20年里,我们一直是IBM生产合作的重要客户,William P. Noglows表示,通过购买CMP浆料专利,我们相信将可以更好的联系和服务于我们的客户。
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http://www.semireporter.com/public/13646.cfm
