据Reed-electronics报道，半导体设备供应商亚微纳（Aviza Technology，Inc.）上周宣布，原子层淀积（Atomic layer deposition, ALD）设备供应商IPS公司已向美国加州地区法院递交诉状，状告Aviza利用IPS保密信息开发原子层淀积系统。

据报告，该诉状希望Aviza对此作出赔偿，并废除2004年4月份以来亚微纳与IPS签署的分销协议。

“亚微纳自信完全按照协议办事，IPS的起诉是毫无意义的，”亚微纳总裁兼CEO Jerry Cutini说，“亚微纳将积极应对该项诉讼，这将不会对我们的业务造成任何影响。”

亚微纳是全球半导体、化合物半导体以及纳米技术领域生产设备及工艺技术供应商。该公司既提供前段工具也提供后段应用。其设备包括ALD，扩散炉以及LPCVD，APCVD，刻蚀设备以及PVD设备。其总部位于加州Scotts谷，在马来西亚拥有制造、研发和销售基地。

相关链接（英文）：http://www.reed-electronics.com/semiconductor/articleXml/LN375957814.html