据Semiconductor Reporter网站报道,生产设备供应商Ultratech Inc.近期宣布,公司已经签署了一份意向性协议书收购表面测量和应力分析系统供应商Oraxion Inc.,预期的交易细节没有被透露。
Ultratech相信此项收购将会成为其战略发展的主要组成部分,收购将最终取决于最终协议的谈判和其他标准条件。
Oraxion所销售的应力测量系统CGS-300通过相干梯度敏感技术和干涉技术,即可以测量图形化后的圆片也可以测量未做工艺的空白圆片。该系统通过获得圆片表面平整度,从而得到局部曲率,计算出最终的应力信息。
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http://www.semireporter.com/public/13637.cfm
