据Semiconductor Reporter网站报道,EDA工具供应商Magma Design Automation Inc.与DFM工具供应商Brion Technologies Inc.近期宣布将建立合作伙伴关系,共同开发光刻工艺的公共模拟环境。
该模拟环境将覆盖物理设计、物理验证、分辨力增强技术(RET)、光学近场修证(OPC)和OPC验证,并将提供Brion光刻模拟和OPC产品与Magma物理设计和验证系统之间的功能连接。
两家公司共同表示,客户通过该公共环境,在进行新工艺节点技术研发时,可以有效的降低成本、节约时间并控制风险。该系统预期将在2006年晚些时候开始供货。
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http://www.semireporter.com/public/13843.cfm
