据Reed-Electronics网站消息，AE公司(Advanced Energy Industries, Inc.)近期宣布其研发的应用于CVD(化学汽相淀积)设备的Sekidenko温度检测辐射补偿器件获得设计奖。

Sekidenko作为光纤温度探测辐射补偿器件应用于CVD设备中具有内嵌入、非接触等优点，可以时时的探测并对温度进行补偿，从而提高同一圆片内部及不同圆片之间的温度一致性和提高产品良率。同时Sekidenko器件可以提供多通道温度测量，这对于90nm以下的工艺中进行低k值介电薄膜及高应力氮化硅的处理加工极为有利。

AE公司主要侧重于能源技术和控制技术领域的研发，如高压驱动技术、等离子体薄膜技术以及纳米制造工艺技术等，主要涉及半导体、平板显示、数据存储、太阳能电池、建筑玻璃等行业。

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http://www.reed-electronics.com/semiconductor/articleXml/LN386303479.html