CS-100F1系列化学药液浓度计，是针对目前半导体制造的蚀刻与清洗制成中对于化学药液浓度高精准的苛刻要求而专门设计，通过运用光纤电缆传送光信号的新技术，将监测单元与清洗系统管道的直接整合，实现了实时的在线监测。一台浓度计可以监测多达4种不同类型或量程的化学溶液，同时也使在单批量/单晶圆清洗系统中多种化学溶液的单线监测变为了可能。并且，该浓度计可将已测量的浓度值反馈至清洗系统的浓度控制程序，以最大限度的浓度精准控制。

　　HORIBA拥有一个完整系列的化学药液浓度计。其独立于清洗系统之外，易于安装和拆卸，为了保证使用的稳定性，全部浓度计都使用DC 24V的电源。

厚利巴贸易（上海）有限公司 
www.jp.horiba.com/products_e/semi/ 
Booth：#3607, 3609