立式炉管_老古开发网手机版

ASM Advance 400 Series立式炉管由两种产品构成：A400^a(200mm)和A412^a300mm)。

　　新式A400^aBasic系列是为中国代工市场特别推出的，其低成本高产出的特性尤其适合以翻新机台价格购买新机台的代工工厂的需要。双独立反应腔设计及每个反应腔内双晶舟的配置可以使机台达到近100%的利用率。高有效时间和保养方便性使A400^a在同类机台中运营成本最低.

　　A412^a得益于A400^a的双独立反应腔设计理念，进一步优化了产出、占地面积和共享资源的使用。其标准晶舟旋转，独特晶舟设计，920毫米平坦区，氮气净化微环境，顶端加热的特点保证了优异的工艺质量。另外，模块化可预知温度控制提供了独特的温度性能并在工艺时可以不使用填充片。