Applied UVision<sup>a</sup>检测系统

有别于传统的基于普通光源的技术，应用材料公司的Applied UVision^a检测系统是业界第一台基于激光的三维明场检测系统。运用了多光束运紫外激光照明、同步明场和三维成像、以及高灵敏度光电倍增管探测，Vision能够发现从未看到过的杀手级缺陷。它使前道工序中关键的浅槽隔离、多晶、触点以及电门刻蚀成为可能。它更具有在工艺研发阶段加快对成品率认知所需的检测灵敏度，以及在批量生产当中工艺监测所需要的通过量。