机载真空干泵_老古开发网手机版

为了响应现代半导体工业对真空干泵的通用性，低耗能，高稳定性和高性能的要求，BOC Edwards推出了新一代的GX系列真空干泵。GX Series主要适用于轻度和中度的硅半导体和复合半导体应用。由于GX泵紧凑的结构和低振动等特性，它能灵活地被安装在机台里，机台边或远离机台的地方。与之前的IQ和IH系列真空泵相比，GX减少了占地面积和能源消耗，从而降低了运行成本。GX是专为更高要求的300mm工艺设计的，但也能有效地运用在200mm的工厂。GX系列真空泵有多种型号和抽速--100, 300, 600 和 800 m3h-1 (59, 177, 353 和 471 cfm)。所有型号都能持续在大气状态下运行。