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纳米定位驱动器

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M-2x系列应用于需要高分辨率、力、速度的情况之下的高精度机电驱动器。该驱动器自身具有连接于球/线杆的直流/步进马达。其设计精度为4纳米,推动力为120牛顿,速度为50毫米/秒。他的特点是有一个非旋转驱动轴,用于改进线性度和重复性,同时它还有超低磨擦方面的设计。
PI (Physik Instrumente) LP www.pi.ws

来源:半导体国际   作者:  2006/3/28 0:00:00
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