Victor Gill, Vice President Corporate Sales
KLA-Tencor
1．更高的晶体管密度，对单位芯片上更多的功能和速度的需求，把工艺创新推向了新的高度。
2．新材料和新结构会带来了新的缺陷种类，这就意味着更多的新材料更多的缺陷，导致了成品率的下降。
3．当技术转向新的世代，成品率损失机理的数量、量级和复杂度都在增加，更快速的成品率学习意味着你能获得更多的利润。 4．器件的成品率是主要的利益点成功的工艺控制可以增加单位晶圆收入，加快缺陷学习的时间;更快的工艺设备投资回报;更快的量产的速度;制造成本的降低;对设备的利用延续到下一个技术节点。

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