随着FEOL和BEOL湿法溶液成分的复杂以及精度的提高，在线的精确分析日益重要。ECI在SEMICON China期间宣布推出QualiSurf实时分析监控方法，用于SC1、SC2、BHF、SPM等试剂以及其它新的化学混合物的分析。

QualiSurf支持wet station和single wafer设备，它是一种非破坏性光学测试系统，能够精确检测出高度稀释后的多成分试剂的成分。

ECI总裁兼CEO Marianna Rabinovitch说：“ECI是全球领先的铜电镀溶液分析技术供应商，面对清洗领域的新应用与挑战，ECI进入了更广泛的市场领域。”