微电机系统（MEMS）、纳米技术和半导体市场的晶圆键合和光刻设备供应商EV集团(EVG)，日前宣布了第一款工业可用带LED光源的光罩对准曝光机系统。目前所有的EVG光罩对准曝光机系统都有LED光源，且在节约用户成本、减少维护和优良的曝光效果上比传统的UV光源做的更好。

　　为曝光机装备LED光源在操作安全性和环境问题上提供了独特的优势。采用新的光源，有效的去除了高压水银弧光灯带来的环保、健康和安全（EHS）风险。

　　“在我们的曝光机上应用LED技术，可以提供先进的曝光源支持高产量的制造，并节约成本和减少维护。与传统的水银灯曝光机比较，HVM和R&D用户可在操作成本上节约50%以上，相当出色。”EV集团CEO兼创始人Erich Thallner说道。

　　定期的维护工作，例如UV灯的更换，将成为过去。尤其对高产的产品，每项单个成本因子都是很重要的。与UV光源相比较，LED光源低耗电，可以消除氮冷却的成本。同时，通过提供正常的操作和生产条件下超过10年免维护寿命，该光源突破了极低的用户成本。这些再次证明了EVG在制定新的晶圆工艺工业标准上的地位。