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Sigma fxP是一种单片式设备组，设计应用于批量PVD工艺。溅射淀积系统的工艺腔是在标准设计的基础上，通过简单地技术升级和晶圆尺寸转化而来的。主要的应用于后道和微/纳米技术。
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来源:半导体国际作者: 2006/8/8 0:00:00

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