据报道，全球最大半导体曝光机设备厂商荷商ASML公司评估在中国台湾地区设立研发中心，作为亚太区研发总部，总投资金额近百亿元台币，为近期半导体外商最大投资案。

       据中国台湾地区官员透露，已向ASML表示，希望此投资案下月底前定案。他表示，曝光机是半导体厂商使用纳米制程的必备机台，ASML曝光机被台积电视为挺进45纳米晶圆的“秘密武器”，双方多年来维持紧密合作关系。由于ASML研发中心需要千坪以上的半导体洁净室，台湾为争取ASML来台投资，动员了很多资源，并在北台湾考察十多块土地，据了解，ASML对在桃园设厂的兴趣较大。