V系列的FTIR湿度分析仪能极大地降低探测级别并且增加真空的保持时间。该系统可以对NH3、HCl、HBr、NF3以及其他腐蚀性气体进行实时监测。测量的间隔通常小于1分钟。该设备在真空状态下工作能扣除环境气氛里的湿度。产品的其他新增功能包括提高信噪比的双ADC电子设备、敏感性高的热-电冷却InAs探测器，以及消除样品湿气残留的电抛光气体单元。
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