使用300mm晶圆的MOS IC的产能变化

不同设计工艺的MOS IC产能的变化（按200mm晶圆投入量换算，单位：千枚）

　　其中，使用300mm晶圆的MOS IC的产能比上季度增长16.2％，达到24万6400万枚/周（实际枚数）。生产开工率为85.0％，比上季度更低，连续2个季度低于90％。

　　从MOS IC的不同设计规格来看，0.16μm以上～0.2μm以下规格以及0.4μm以上～0.7μm以下规格的生产能力比上季度下降，但是其它规格的生产能力均超过上季度。其中，增长最大的是0.12μm以下规格，比上季度增长11.2％，达到69万7900枚/周（按200mm晶圆的投入枚数换算）。生产开工率也最高，达到93.4％，但与上季度比较，已连续2个季度下降。