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我国8英寸以上关键装备实现重大突破

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最近,北京北方微电子公司和中科信公司承担的国家100纳米刻蚀机与离子注入机设备攻关项目顺利通过国家验收,标志着我国集成电 路装备技术直接跨越了5个技术代,达到了与国际同步的“8英寸100纳米”装备水平。

据介绍,这两家公司向中芯国际集成电路制造公司供货,签订了价值过亿元的采 购大单。这是我国国产主流集成电路核心设备首个大单,
  
打破了8英寸以上集成电路核心设备全部被外国企业垄断的局面。

来源:TOM科技   作者:  2007/2/2 0:00:00
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