据市场调研公司The Information Network，2006年光刻市场销售额达到67亿美元，创造了新的最高记录。据The Information Network，2007年光刻市场将增长11%，达到74亿美元。预计2008年将再度激增38%，达到102亿美元。

The Information Network的总裁Robert N. Castellano表示，2006年半导体光刻产业增长40%，增幅明显高于整个半导体前端设备市场的23%。单位出货量上升22%，而平均销售价格上涨了15%。

荷兰光刻设备生产商ASML在2006年夺得了60.8%的市场份额，高于2005年时的53.3%。日本尼康位居第二，市场份额为24.5%。