日前，普旭BUSCH的无油螺杆真空泵系列通过应用材料公司美国实验室测试。普旭是全球最有影响力的真空设备厂商之一，为客户提供了数量众多的真空泵及真空系统，这次，应用材料公司在美国实验室将普旭BUSCH的无油螺杆真空泵系列与其设备安装在一起进行测试，经过一年检测，结果证明普旭真空泵系列与其设备结合测试的结果最好。所以应用材料公司与普旭BUSCH半导体真空集团达成协议：应用材料公司在以后全球销售中将大力向客户推荐普旭真空泵系列，并允许普旭BUSCH在其无油螺杆系列真空泵上贴应用材料公司AMAT商标。

本文摘自《半导体技术》