德国彼特沃尔特斯公司（Peter Wolters）是在端面平面精密加工方面具有主导地位的有近200 年历史的世界性的一流企业，专门生产用于工件平面表面精密加工的高精密数控单、双端面精密磨削（Fine Grinding），研磨（Lapping），抛光 （Polishing），化学机械平整(CMP)及相应的自动化上下料设备。只要是工件在单端面或双端面的平面上有高尺寸精度、高形位公差（平行度及平面度）及高表面光洁度的要求，就要用到其设备。其设备适于加工各种半导体材料的片基，加工精度达到了亚微米级的水平。彼特沃尔特斯公司的精密磨削技术及其对300毫米直径硅片的双面抛光技术居于世界领先地位。

本文摘自《半导体技术》