微机电系统(MEMS)市场包括汽车安全气囊系统、显示系统和打印机墨盒等。日前，SEMI发布名为“全球微机电/微系统市场和机遇”的市场研究报告中指出，2005年该产业总规模达到480亿美元，期待到2010年将增长到950亿美元。

这些系统的核心微机电器件在2005年产业规模达到53亿美元，由于消费电子微机电器件使用量增加，预计到2010年产业规模将增长到99亿美元，年复合增长率为13%。

微机电器件包括压力传感器、加速仪、陀螺仪、麦克风、数字显示、微射流器件等。2005年，用于制造微电机器件的材料和设备产业规模高达10亿美元。预计到2010年，MEMS材料市场复合增长率为15%，而MEMS设备市场复合增长率为6%。

SEMI新兴技术高级主管Lubab Sheet表示，“MEMS产业受到许多新兴应用驱动，如手机MEMS微话筒、游戏应用中的加速器、电视中的光学微机电器件、替代石英振荡器的MEMS共鸣器等，以及未来几年将出现的微型燃料电池。”