半导体电浆制程测漏仪器在台湾宣布研发成功

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科研人员在半导体制程设备与技术上取得一项突破，被誉为“半导体电浆制程测漏尖兵”的“微型光谱即时侦测器”由台湾精密仪器发展中心宣布研发成功。

本文摘自《半导体技术》

来源:中电网作者: 2004/11/19 0:00:00

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