Quantox XP 是一种非接触式、在线式监控测量系统。是用来控制先进的≤130nm厚度的栅绝缘层工艺的。该设备的 ACTIV 技术能精确、全面、实时地提供先进的栅绝缘材料的包括氮氧化硅和高k值绝缘材料等的物理特性和电学特性两方面的信息。能提供在数分钟内形成的栅绝缘膜的电容与泄漏量的测量结果。
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