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日本半导体厂商受地震影响

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此次日本东北地区发生的地震,影响到日本一些半导体厂商的半导体生产。受影响量大的是日本冲电气公司(Oki)。7日26日的地震的震中位于宫城县北部。距震中较近的冲电气公司宫城半导件厂,在地震中一些扩散炉的玻璃管发生了破裂。该厂是冲电气的半导体前工序生产厂。以扩散、光刻等工序为主。在半导体生产线中,较为精密的是光刻机。当发生地震时,会破坏其工作精度。每当此时,一般需要设备厂来工程师重新调整。目前,半导体的工艺以0.13微米线宽为主。0.13的米仅为一根头发丝的600分之一。因而只要发生有感地震,通常都需重新检测光刻机。因余震不断,冲电气的半导体生产厂已停产,设备损坏情况正分阶段检查和统计之中。
     
除此之外,日本岩手县是日本半导体厂商比较集中之地。设于岩手县的东芝电子半导体生产厂和富士通半导体厂的设备也有不同程度的损坏,两厂均已停产。此外,摩托罗拉在岩手县的独资企业东北半导体厂在此次地震中也有局部损坏,现已停产。截止到28日这些半导体厂还在检修设备。
来源:中电网   作者:  2003/7/30 0:00:00
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