根据日本半导体制造装置协会（SEAJ）的调查统计，5月份日制半导体设备金额为988亿3700万日圆，虽然较去年同期衰退11.8％，但若与4月份相较，则大幅增长了35％，同时也是连续第四个月的正增长表现。市场人士表示，半导体生产设备需求的旺季为夏季以后，因此，5月份的增长表现，显示景气已明显复苏，预料6月以后市场将持续成长。

2002年5月份日制半导体设备接单金额达1121亿日圆，为2002全年度的最高记录，因此今年5月份接单金额虽然较去年同期衰退，但已明显复苏至千亿日圆之规模，同时也是连续第四个的单月正增长表现。

而在5月份日制设备的销售金额方面，总金额为478亿4100万日圆，虽然较4月份小幅增长3.7％，但整体规模仍处于低潮。至于5月份的日本市场半导体设备销售金额，则为294亿8900万日圆，较去年同期增长17.5％。