MicroGen Modular氟气生成系统可为CVD反应器清洗提供大量的氟气，并能在全厂范围内进行输送。将来只需最小限度地添加硬件设备，就可以增加氟气的生成能力。它包括多个氟气生成单元，每单元能产生800g/hr的氟气。每个反应单元分别位于逐个排列的独立柜子里，并通过柜子和中央控制、纯化及储存系统相互连接在一起。
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