Dimension Vx340TM原子力显微镜（Atomic Force Profiler, AFP）是专门针对CMP特性与工艺控制的量测系统。它结合了专用于CMP的算法、原子力显微镜的清晰度和长程扫描能力，使得其显微结构具有直观、可靠、重复性好的特点，能够很好的控制CMP工艺过程。     Veeco   www.veeco.com