Axcelis接到Optima MD单晶圆离子注入设备订单

据SemiconTimes网站报道，Axcelis目前接到美国国家半导体（National Semiconductor）的Optima MD单晶圆离子注入设备订单。Axcelis将在2006年第三季度发货至National Semiconductor公司在Maine州South Portland市的工厂。

Axcelis和National Semiconductor公司在中间掺杂领域有着长久而良好的合作历史，National Semiconductor公司Maine厂高级采购员John McClean表示， Optima MD设备低能耗，简单易控，以及零污染的特点使得我们继续与Axcelis合作。

Optima MD不断赢得客户，是因为创新的设计使得设备具有优异的制造效率，可以带来给客户带来大的产额，Axcelis总裁兼CEO Mary Puma表示，我们相信Axcelis与National Semiconductor的合作关系将会继续保持下去。