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设计检查系统

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DesignScan是一个全芯片工艺窗口检查系统,用于90纳米及以下技术的post-RET(分辨率增强技术)掩膜版设计版面的检测。它使得芯片生产商减少掩膜版的设计修正次数,获得高成品率的设计。利用DesignScan和LithoView,在将设计提交到掩膜版生产之前识别并优化设计相关的影响性能和成品率的图形,这加强了代工厂和无工厂芯片生产商之间的协作。
KLA-Tencor  www.kla-tencor.com

来源:半导体国际   作者:  2006/4/12 0:00:00
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