WA系列原子力显微镜（AFM）是用于300mm晶片非破坏性在线测量的设备。用户可凭借其step-in模式对微观结构，例如浅沟道隔离（STI）在蚀刻过程中的结构变化进行精确测量。它还具有大面积平坦度测量功能，测量面积高达15mm2，测量精度达到纳米级水平，确保为CMP工艺提供平坦度的快速控制和调节。
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