欧姆龙电子公司开发了一种超小型射频继电器的原型产品，这种继电器利用MEMS技术转换高达20GHz信号。这种1.8mm×1.8mm×1mm的显微机械加工继电器（MMR）尺寸只有欧姆龙公司的G6K系列等最小的普通机电继电器的百分之一，是世界最小的接触继电器之一。此外，MMR的介入损失小于等于1.3dB，绝缘大于等于20dB，其射频性能是迄今为止任何继电器不能比的。

　　在机电器件不能满足规格要求时通常使用半导体转换器。不过，这些器件有几个不足，包括转换信号功率损失大，带宽窄，以及在转换时产生杂散射频，需要额外的射频过滤器等。

　　MMR采用专利的垂直直通结构，在这种结构中，一条连接焊点的导线被垂直做在衬底中。转换是通过MEMS制造产生的实际活动机械触点完成的。

　　其他规格包括频率范围2～20GHz，转换速度1ms。该器件采用24V控制信号。

　　该器件力争2004年实现商品化。进一步信息，请洽日本东京欧姆龙公司Christopher Udell，电子邮件：christopher_udell@omron.co.jp。