图7 TaNFilm薄膜技术制造适于微波频率的电阻元件

  防潮的氮化钽解决了标准镍铬铁合金技术存在的腐蚀问题。该技术能制造表面电阻在5～100Ω/sq之间的电阻元件。
电阻热系数在±10×10-6/℃，这种材料在70℃下的导热率为34.7Ω/m°K。该公司采用先进的光刻和等离子蚀刻工艺，能制作有镀层的孔、边缘终端和19μm的导体轨迹与间隙。
薄膜提供±0.015%的电阻容许偏差和±0.005%的比率容许偏差。薄膜衬底厚度有15、20和25mil等几种，电介质强度200V/μm。
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